工艺原理：在碳载型催化剂作用下，>99.5%以上的氮气中的氧和碳加热反应即C+O2=CO2，除氧后氮气经冷却器冷却脱水后，进入干燥吸附器进行吸附、再生，从而除去二氧化碳和水，经过滤后得到高质量的氮气。

氮气流量　99.9995%(O₂<5ppm、CO₂≤5ppm)
氮气纯度：5Nm³/h-500Nm³/h

露    点：≤-60℃